单晶等离子发生器设备一般是指用化学喷雾清理单晶圆的设备，等离子体放电 pdf与自动清理台相比，具有较低的清理效率和产能，但具有较高的工艺环境控制能力和颗粒去除能力。自动工作站，又称槽式自动清洗设备，是指在化学浴中同时清理多个晶圆的设备。其优点是清理能力高，适合大规模生产，但不能达到单晶圆清洗设备的清
